Diamond/ZnO/LiNbO3 structure for packageless acoustic wave sensors - Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2017

Diamond/ZnO/LiNbO3 structure for packageless acoustic wave sensors

Cécile Floer
Stefan Mcmurtry
Sami Hage-Ali
Omar Elmazria

Résumé

—This paper studies the Diamond/ZnO/LiNbO3 structure, numerically and experimentally, as a candidate for a packageless sensor based on the surface acoustic wave technology. The structure is compared with an AlN/ZnO/LiNbO3 structure, in order to highlight better performances of diamond with respect to AlN. Early experimental results of nanocrystalline diamond growth on ZnO/Si are presented.
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Dates et versions

hal-01628938 , version 1 (30-01-2018)

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Citer

Cécile Floer, Mohammed Moutaouekkil, Florian Bartoli, Harshad Mishra, Stefan Mcmurtry, et al.. Diamond/ZnO/LiNbO3 structure for packageless acoustic wave sensors. IEEE Sensors, Oct 2017, Glasgow, United Kingdom. ⟨10.1109/ICSENS.2017.8234393⟩. ⟨hal-01628938⟩
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