Caractérisation de profils de dopage par imagerie de résistance locale à faible force - CentraleSupélec Access content directly
Conference Papers Year : 2005

Caractérisation de profils de dopage par imagerie de résistance locale à faible force

Frédéric Houzé
Laboratoire de génie électrique de Paris
CV
D. Mariolle
  • Function : Author
F. Bertin
  • Function : Author
Pascal Chrétien
Laboratoire de génie électrique de Paris
CV
Olivier Schneegans
Laboratoire de génie électrique de Paris

Olivier Schneegans  : Connect in order to contact the contributor

https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-00320231

Submitted on : Wednesday, September 10, 2008-2:55:50 PM

Last modification on : Friday, March 24, 2023-2:52:50 PM

Not file

Dates and versions

hal-00320231 , version 1 (10-09-2008)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00320231 , version 1

Cite

Frédéric Houzé, D. Mariolle, F. Bertin, Pascal Chrétien, Olivier Schneegans. Caractérisation de profils de dopage par imagerie de résistance locale à faible force. 8ème Forum des Microscopies à Sonde Locale, 2005, France. ⟨hal-00320231⟩

Export

BibTeX TEI Dublin Core DC Terms EndNote Datacite

Collections

SUPELEC UPMC EC-PARIS CNRS SUP_LGEP CENTRALESUPELEC UNIV-PARIS-SACLAY SORBONNE-UNIVERSITE
50 View
0 Download

Share

Gmail Facebook Twitter LinkedIn More