Effect of evolution of powders on a-Si:H samples in silane-argon plasma at low power density - CentraleSupélec Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Effect of evolution of powders on a-Si:H samples in silane-argon plasma at low power density

A. Bhaduri
  • Fonction : Auteur
P. Chaudhuri
  • Fonction : Auteur
S. Vignoli
O. Marty
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00321712 , version 1 (15-09-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00321712 , version 1

Citer

Namita Dutta Gupta, Christophe Longeaud, A. Bhaduri, P. Chaudhuri, S. Vignoli, et al.. Effect of evolution of powders on a-Si:H samples in silane-argon plasma at low power density. 13th International Workshop on the Physics of Semiconductor Devices, 2005, India. ⟨hal-00321712⟩
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