Deposition of microcrystalline silicon-carbon alloys by RF-PECVD and MDECR - CentraleSupélec

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Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Deposition of microcrystalline silicon-carbon alloys by RF-PECVD and MDECR

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Sofia Gaiaschi

Fonction : Auteur

Laboratoire de génie électrique de Paris

E.V. Johnson

Fonction : Auteur
PersonId : 739097
IdHAL : erikvjohnson
ORCID : 0000-0003-0920-2111
IdRef : 253120209

Pavel Bulkin

Fonction : Auteur
PersonId : 180547
IdHAL : pavel-bulkin
ORCID : 0000-0001-5591-3470
IdRef : 253127122

P. Chapon

Fonction : Auteur

Marie-Estelle Gueunier-Farret

Fonction : Auteur
PersonId : 14061
IdHAL : marie-gueunier-farret
ORCID : 0000-0003-1615-498X
IdRef : 166935093

Laboratoire de génie électrique de Paris

Jean-Paul Kleider

Fonction : Auteur
PersonId : 5984
IdHAL : jean-paul-kleider
ORCID : 0000-0003-4388-6326
IdRef : 03273039X

Laboratoire de génie électrique de Paris

Olivier Schneegans : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://centralesupelec.hal.science/hal-00779004

Soumis le : lundi 21 janvier 2013-15:57:52

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:56

Dates et versions

hal-00779004 , version 1 (21-01-2013)

Identifiants

HAL Id : hal-00779004 , version 1

Citer

Sofia Gaiaschi, E.V. Johnson, Pavel Bulkin, P. Chapon, Marie-Estelle Gueunier-Farret, et al.. Deposition of microcrystalline silicon-carbon alloys by RF-PECVD and MDECR. E-MRS Spring Meeting 2012, May 2012, Strasbourg, France. ⟨hal-00779004⟩

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