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Contributor : Alexandra Siebert <>
Submitted on : Monday, November 30, 2015 - 1:46:21 PM Last modification on : Monday, November 16, 2020 - 4:26:02 PM
Pierre Prache, Jérôme Juillard, Nuria Barniol. Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM 2015), May 2015, bordeaux, France. ⟨hal-01235612⟩