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Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants

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Dates and versions

hal-01235612 , version 1 (30-11-2015)

Identifiers

  • HAL Id : hal-01235612 , version 1

Cite

Pierre Prache, Jérôme Juillard, Nuria Barniol. Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM 2015), May 2015, bordeaux, France. ⟨hal-01235612⟩
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