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Conference papers

Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants

Pierre Prache 1 Jérôme Juillard 1 Nuria Barniol 2
1 GeePs - Laboratoire Génie électrique et électronique de Paris
2 UAB - Universitat Autònoma de Barcelona
Document type :
Conference papers
Complete list of metadata
https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-01235612
Contributor : Alexandra Siebert Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, November 30, 2015 - 1:46:21 PM
Last modification on : Thursday, September 9, 2021 - 3:02:58 AM

Identifiers

  • HAL Id : hal-01235612, version 1

Collections

CNRS | UPMC | CENTRALESUPELEC | GEEPS | ECO2 | SORBONNE-UNIVERSITE | SU-SCIENCES | GS-ENGINEERING | INSTITUT-SCIENCES-LUMIERE

Citation

Pierre Prache, Jérôme Juillard, Nuria Barniol. Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM 2015), May 2015, bordeaux, France. ⟨hal-01235612⟩

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