Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants

Complete list of metadatas

https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-01235612
Contributor : Alexandra Siebert <>
Submitted on : Monday, November 30, 2015 - 1:46:21 PM
Last modification on : Thursday, March 21, 2019 - 1:08:09 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-01235612, version 1

Citation

Pierre Prache, Jérôme Juillard, Nuria Barniol. Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM 2015), May 2015, bordeaux, France. ⟨hal-01235612⟩

Share

Metrics

Record views

177