Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants

Pierre Prache 1 Jérôme Juillard 1 Nuria Barniol 2
1 GeePs - Laboratoire Génie électrique et électronique de Paris
2 UAB - Universitat Autònoma de Barcelona [Barcelona]
Document type :
Conference papers
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https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-01235612
Contributor : Alexandra Siebert <>
Submitted on : Monday, November 30, 2015 - 1:46:21 PM
Last modification on : Thursday, March 21, 2019 - 1:08:09 PM

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  • HAL Id : hal-01235612, version 1

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Citation

Pierre Prache, Jérôme Juillard, Nuria Barniol. Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM 2015), May 2015, bordeaux, France. ⟨hal-01235612⟩

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