Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants - Archive ouverte HAL Access content directly
Conference Papers Year :

Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants

(1) , (1) , (2)
1
2

Domains

Engineering Sciences [physics] Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Alexandra Siebert  : Connect in order to contact the contributor

https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-01235612

Submitted on : Monday, November 30, 2015-1:46:21 PM

Last modification on : Monday, October 17, 2022-1:35:14 PM

Not file

Dates and versions

hal-01235612 , version 1 (30-11-2015)

Identifiers

  • HAL Id : hal-01235612 , version 1

Cite

Pierre Prache, Jérôme Juillard, Nuria Barniol. Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM 2015), May 2015, bordeaux, France. ⟨hal-01235612⟩

Export

BibTeX TEI Dublin Core DC Terms EndNote Datacite

Collections

UPMC CNRS CENTRALESUPELEC GEEPS ECO2 UNIV-PARIS-SACLAY SORBONNE-UNIVERSITE SU-SCIENCES GS-ENGINEERING INSTITUT-SCIENCES-LUMIERE
70 View
0 Download

Share

Gmail Facebook Twitter LinkedIn More