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Conference papers

Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants

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https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-01235612
Contributor : Alexandra Siebert Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, November 30, 2015 - 1:46:21 PM
Last modification on : Thursday, September 9, 2021 - 3:02:58 AM

Identifiers

  • HAL Id : hal-01235612, version 1

Citation

Pierre Prache, Jérôme Juillard, Nuria Barniol. Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM 2015), May 2015, bordeaux, France. ⟨hal-01235612⟩

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