https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-01235612 Contributor : Alexandra SiebertConnect in order to contact the contributor Submitted on : Monday, November 30, 2015 - 1:46:21 PM Last modification on : Thursday, September 9, 2021 - 3:02:58 AM
Pierre Prache, Jérôme Juillard, Nuria Barniol. Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM 2015), May 2015, bordeaux, France. ⟨hal-01235612⟩