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Conference Papers Year :

Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants

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Micro and nanotechnologies/Microelectronics

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https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-01235612

Submitted on : Monday, November 30, 2015-1:46:21 PM

Last modification on : Friday, March 24, 2023-2:53:01 PM

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Dates and versions

hal-01235612 , version 1 (30-11-2015)

Identifiers

  • HAL Id : hal-01235612 , version 1

Cite

Pierre Prache, Jérôme Juillard, Nuria Barniol. Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM 2015), May 2015, bordeaux, France. ⟨hal-01235612⟩

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