 |
Journal articles
Conducting Probe Atomic Force Microscope as a Relevant Tool for Studying Some Phenomena in MEMS Switches
Alexis Peschot
1, 2
Maxime Vincent
1, 2
Christophe Poulain
2
Denis Mariolle
2
Frédéric Houzé
3
Jérôme Delamare
1
Alexis Peschot 1, 2
Author
Maxime Vincent 1, 2
Author
Christophe Poulain 2
Author
Denis Mariolle 2
Author
Frédéric Houzé 3
Author IdHAL : frederic-houze
Jérôme Delamare 1
Author
1
G2ELab - Laboratoire de Génie Electrique de Grenoble (Bâtiment GreEn-ER, 21 avenue des martyrs, CS 90624, 38031 Grenoble CEDEX 1 - France)
- UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France)
- Grenoble INP - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- Institut Polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5269 (France)
2
CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
3
GeePs - Laboratoire Génie électrique et électronique de Paris (11, rue Joliot Curie
Plateau de Moulon
91192 Gif sur Yvette - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
- UPMC - Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (4 place Jussieu - 75005 Paris - France)
- CentraleSupélec (3, rue Joliot Curie, Plateau de Moulon, 91192 GIF-SUR-YVETTE Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8507 (France)
Document type :
Journal articles
Complete list of metadata
https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-01235862
Contributor : Frédéric Houzé <>
Submitted on : Monday, November 30, 2015 - 6:56:18 PM
Last modification on : Thursday, November 19, 2020 - 1:00:31 PM
Contributor : Frédéric Houzé <>
Submitted on : Monday, November 30, 2015 - 6:56:18 PM
Last modification on : Thursday, November 19, 2020 - 1:00:31 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-01235862, version 1
- DOI : 10.1007/s11220-015-0124-1
Collections
CNRS | UPMC | CEA | GEEPS | CENTRALESUPELEC | PHEMADIC | DRT | LETI | SORBONNE-UNIVERSITE | G2ELAB | CEA-GRE | SU-SCIENCES | UGA
Citation
Alexis Peschot, Maxime Vincent, Christophe Poulain, Denis Mariolle, Frédéric Houzé, et al.. Conducting Probe Atomic Force Microscope as a Relevant Tool for Studying Some Phenomena in MEMS Switches. Sensing and Imaging: An International Journal, Springer Verlag, 2015, 16, pp.21. ⟨10.1007/s11220-015-0124-1⟩. ⟨hal-01235862⟩
Metrics
Record views