Mesures électriques locales par AFM en mode intermittent

Aymeric Vecchiola (1, 2) , Pascal Chrétien (2) , Olivier Schneegans (2) , Frédéric Houzé (2) , Karim Bouzehouane (3) , Stéphane Fusil (3) , Richard Mattana (3) , Pierre Seneor (3)

1 Concept Scientific Instruments
2 LGEP - Laboratoire de génie électrique de Paris
3 Laboratoire Albert Fert (ex-UMPhy Unité mixte de physique CNRS/Thales)

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Aymeric Vecchiola, Pascal Chrétien, Olivier Schneegans, Frédéric Houzé, Karim Bouzehouane, et al.. Mesures électriques locales par AFM en mode intermittent. Journées Nationales Nanosciences et Nanotechnologies (J3N 2014), Nov 2014, Lyon, France. ⟨hal-01338861⟩