Are the argon metastables important in high power impulse magnetron sputtering discharges?

J. T. Gudmundsson; D. Lundin; G. D. Stancu; N. Brenning; T. M. Minea

doi:10.1063/1.4935402

Are the argon metastables important in high power impulse magnetron sputtering discharges?

J. T. Gudmundsson D. Lundin ¹ G. D. Stancu ^{2, 3} N. Brenning ⁴ T. M. Minea ¹

1 Laboratoire de Physique des Gaz et des Plasmas – CNRS UMR 8578

2 EM2C - Laboratoire d'Énergétique Moléculaire et Macroscopique, Combustion

3 Ecole Centrale Paris

4 School of Electrical Engineering [Stockholm]

Type de document :

Article dans une revue

Physics of Plasmas, American Institute of Physics, 2015, 22 (11), 〈10.1063/1.4935402〉

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Plasmas

Liste complète des métadonnées

https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-01348451
Contributeur : Christophe Laux <>
Soumis le : samedi 23 juillet 2016 - 20:47:06
Dernière modification le : vendredi 20 avril 2018 - 14:30:03

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