Are the argon metastables important in high power impulse magnetron sputtering discharges?

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Physics of Plasmas, American Institute of Physics, 2015, 22 (11), 〈10.1063/1.4935402〉
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Contributeur : Christophe Laux <>
Soumis le : samedi 23 juillet 2016 - 20:47:06
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:14:36

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J. T. Gudmundsson, D. Lundin, G. D. Stancu, N. Brenning, T. M. Minea. Are the argon metastables important in high power impulse magnetron sputtering discharges?. Physics of Plasmas, American Institute of Physics, 2015, 22 (11), 〈10.1063/1.4935402〉. 〈hal-01348451〉

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