Techniques de mesure de grandeurs électriques adaptées aux nano-circuits

Brice Gautier; Pascal Chrétien; Khalifa Aguir; Frédéric Houzé; Olivier Schneegans; Johannes Hoffmann; Chevalier Nicolas; Łukasz Borowik; Dominique Deresmes; P Gournay; P. Maillot; François Piquemal

Techniques de mesure de grandeurs électriques adaptées aux nano-circuits

Brice Gautier ¹ Pascal Chrétien ² Khalifa Aguir ³ Frédéric Houzé ² Olivier Schneegans ² Johannes Hoffmann ⁴ Chevalier Nicolas ⁵ Łukasz Borowik ⁵ Dominique Deresmes ⁶ P Gournay ⁷ P. Maillot ⁸ François Piquemal ⁷

1 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon

2 GeePs - Laboratoire Génie électrique et électronique de Paris

3 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence

4 METAS - Institut Fédéral de Métrologie

5 CEA-LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information

6 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

7 LCM - Laboratoire commun de métrologie LNE-CNAM

8 STMicroelectronics

Keywords : microelectronic nano-electronics atomic force microscopy nanoscale electrical measurement of capacitance nanoscale electrical measurement of resistance nanoscale electrical measurement of electric field

Type de document :

Article dans une revue

Les Techniques de l'Ingenieur, Editions T.I., 2016, Mesures-Analyses / Mesures et tests électroniques pp.R1084 V1

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Liste complète des métadonnées

https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-01432552
Contributeur : Frédéric Houzé <>
Soumis le : mercredi 11 janvier 2017 - 17:46:36
Dernière modification le : lundi 11 février 2019 - 16:45:56

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