Techniques de mesure de grandeurs électriques adaptées aux nano-circuits

Brice Gautier; Pascal Chrétien; Khalifa Aguir; Frédéric Houzé; Olivier Schneegans; Johannes Hoffmann; Chevalier Nicolas; Łukasz Borowik; D. Deresmes; P Gournay; P. Maillot; François Piquemal

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Techniques de mesure de grandeurs électriques adaptées aux nano-circuits

Brice Gautier ¹ Pascal Chrétien ² Khalifa Aguir ³ Frédéric Houzé ² Olivier Schneegans ² Johannes Hoffmann ⁴ Chevalier Nicolas ⁵ Łukasz Borowik ⁵ D. Deresmes ⁶ P Gournay ⁷ P. Maillot ⁸ François Piquemal ⁷

1 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon

2 GeePs - Laboratoire Génie électrique et électronique de Paris

3 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence

4 METAS - Institut Fédéral de Métrologie

5 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

6 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

7 LCM - Laboratoire commun de métrologie LNE-CNAM

8 STMicroelectronics

Brice Gautier ¹
Author
PersonId : 15263
IdHAL : brice-gautierORCID : 0000-0002-0705-9967IdRef : 098448617

Pascal Chrétien ²
Author
PersonId : 5981
IdHAL : pascal-chretien

Khalifa Aguir ³
Author
PersonId : 19327
IdHAL : khalifa-aguirORCID : 0000-0001-8491-4843IdRef : 031890067

Frédéric Houzé ²
Author
PersonId : 13067
IdHAL : frederic-houzeIdRef : 15620584X

Olivier Schneegans ²
Author
PersonId : 15895
IdHAL : olivier-schneegansORCID : 0000-0001-9741-3327IdRef : 18007007X

Johannes Hoffmann ⁴
Author

Chevalier Nicolas ⁵
Author

Łukasz Borowik ⁵
Author

D. Deresmes ⁶
Author
PersonId : 747609
IdHAL : dominique-deresmesORCID : 0000-0002-4238-3842

P Gournay ⁷
Author

P. Maillot ⁸
Author

François Piquemal ⁷
Author
PersonId : 761213ORCID : 0000-0002-7950-0475

1 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques (France) StructId : 527406

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon (France) StructId : 179701
- ECL - École Centrale de Lyon (36 avenue Guy de Collongue - 69134 Ecully cedex - France) StructId : 126765
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
- UCBL - Université Claude Bernard Lyon 1 (43, boulevard du 11 novembre 1918, 69622 Villeurbanne cedex - France) StructId : 194495
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
- CPE - École Supérieure de Chimie Physique Électronique de Lyon (Domaine Scientifique de la Doua Bâtiment Hubert Curien 43 Boulevard du 11 Novembre 1918 69616 Villeurbanne - France) StructId : 210962
- INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (20 Avenue Albert Einstein, 69621 Villeurbanne cedex - France) StructId : 219748
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5270 (France) StructId : 441569

2 GeePs - Laboratoire Génie électrique et électronique de Paris (11, rue Joliot Curie Plateau de Moulon 91192 Gif sur Yvette - France) StructId : 411302

UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France) StructId : 92966
UPMC - Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (4 place Jussieu - 75005 Paris - France) StructId : 93591
CentraleSupélec (3, rue Joliot Curie, Plateau de Moulon, 91192 GIF-SUR-YVETTE Cedex - France) StructId : 411575
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8507 (France) StructId : 441569

3 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence (Faculté des Sciences Avenue Escadrille Normandie Niemen Case 142 13397 Marseille Cedex 20 - France) StructId : 199957

AMU - Aix Marseille Université : UMR7334 /UMR6242 (Aix-Marseille Université Jardins du Pharo 58 Boulevard Charles Livon 13284 Marseille cedex 7 - France) StructId : 198056
UTLN - Université de Toulon : UMR7334 /UMR6242 (Avenue de l'Université - BP 20132 - 83957 La Garde Cedex - France) StructId : 303091
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7334 /UMR6242 (France) StructId : 441569

4 METAS - Institut Fédéral de Métrologie (Switzerland) StructId : 478590

METAS (Switzerland) StructId : 478589

5 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 40214

DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France) StructId : 440043
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016

6 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 ([Univ. Lille, CNRS, Ecole Centrale Lille, Yncréa-ISEN, UVHC] –– Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D’ASCQ CEDEX - France) StructId : 1296

Centrale Lille (École Centrale de Lille - Cité Scientifique - CS 20048 59651 Villeneuve d'Ascq Cedex - France) StructId : 120930
Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN) (France) StructId : 300066
UVHC - Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (Campus Mont Houy 59313 Valenciennes Cedex 9 - France) StructId : 300279
Université de Lille (Lille - France) StructId : 374570
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8520 (France) StructId : 441569
UPHF - Université Polytechnique Hauts-de-France (Campus Mont Houy 59313 Valenciennes Cedex 9 - France) StructId : 1001263

7 LCM - Laboratoire commun de métrologie LNE-CNAM (CNAM Case courrier 2D7P30 rue du Landy 93210 LA PLAINE SAINT DENIS - France) StructId : 538485

LNE - Laboratoire National de Métrologie et d'Essais [Trappes] : EA2367 (29 avenue Roger Hennequin 78197 Trappes cedex - France) StructId : 147619
CNAM - Conservatoire National des Arts et Métiers [CNAM] : EA2367 (France) StructId : 300351
- HESAM - HESAM Université (15, rue Soufflot 75005 Paris - France) StructId : 302628

8 STMicroelectronics (France) StructId : 300430

Keywords : microelectronic nanoscale electrical measurement of capacitance nano-electronics atomic force microscopy nanoscale electrical measurement of resistance nanoscale electrical measurement of electric field

Document type :

Journal articles

Domain :

Engineering Sciences [physics] / Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Complete list of metadata

https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-01432552
Contributor : Frédéric Houzé Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, January 11, 2017 - 5:46:36 PM
Last modification on : Wednesday, March 23, 2022 - 3:50:27 PM

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HAL Id : hal-01432552, version 1

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Brice Gautier, Pascal Chrétien, Khalifa Aguir, Frédéric Houzé, Olivier Schneegans, et al.. Techniques de mesure de grandeurs électriques adaptées aux nano-circuits. Les Techniques de l'Ingenieur, Editions T.I., 2016, Mesures-Analyses / Mesures et tests électroniques pp.R1084 V1. ⟨hal-01432552⟩

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