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Conference papers
Low temperature plasma epitaxy of Silicon on III-V
Gwenaëlle Hamon
1
Nicolas Vaissière
1
Wanghua Chen
1
J Alvarez
2
Jean-Luc Maurice
1
Jean Decobert
3
Jean-Paul Kleider
2
Pere Roca I Cabarrocas Roca I Cabarrocas
1
Gwenaëlle Hamon 1
Author
Nicolas Vaissiere Vaissière 1
Author
Wanghua Chen 1
Author
J Alvarez 2
Author IdHAL : jose-alvarez ORCID : https://orcid.org/0000-0003-3558-8302
Jean-Luc Maurice 1
Author IdHAL : jean-lucmaurice ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/D-7043-2011 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-5005-7174
Jean Decobert 3
Author
Jean-Paul Kleider 2
Author IdHAL : jean-paul-kleider ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4388-6326
1
LPICM - Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau] (bat. 408 Route de Saclay 91128 PALAISEAU CEDEX - France)
- X - École polytechnique (École polytechnique, 91128 Palaiseau Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7647 (France)
2
GeePs - Laboratoire Génie électrique et électronique de Paris (11, rue Joliot Curie
Plateau de Moulon
91192 Gif sur Yvette - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
- UPMC - Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (4 place Jussieu - 75005 Paris - France)
- CentraleSupélec (3, rue Joliot Curie, Plateau de Moulon, 91192 GIF-SUR-YVETTE Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8507 (France)
3
III-V Lab - Alcatel-Thalès III-V lab (Route de Nozay, 91461 Marcoussis Cedex - France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadata
https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-01801476
Contributor : Jean-Paul Kleider Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, May 28, 2018 - 2:37:43 PM
Last modification on : Wednesday, September 8, 2021 - 6:07:19 PM
Contributor : Jean-Paul Kleider Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, May 28, 2018 - 2:37:43 PM
Last modification on : Wednesday, September 8, 2021 - 6:07:19 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-01801476, version 1
Collections
CENTRALESUPELEC | PHEMADIC | GEEPS | UPMC | CNRS | LPICM | X-PICM | X | X-DEP-PHYS | SORBONNE-UNIVERSITE | SU-SCIENCES | GS-ENGINEERING | INSTITUT-SCIENCES-LUMIERE
Citation
Gwenaëlle Hamon, Nicolas Vaissière, Wanghua Chen, J Alvarez, Jean-Luc Maurice, et al.. Low temperature plasma epitaxy of Silicon on III-V. EMRS Spring Meeting 2018, Jun 2018, Strasbourg, France. ⟨hal-01801476⟩
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