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Conference papers
Heteroepitaxial growth of Silicon on GaAs via low temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition
Guénaëlle Hamon
1
Nicolas Vaissière
2
Romain Cariou
2, 3
Wanghua Chen
2
J Alvarez
4
Jean-Luc Maurice
2
Jean Decobert
5
Jean-Paul Kleider
4
Pere Roca I Cabarrocas Roca I Cabarrocas
2
Guénaëlle Hamon 1
Author
Nicolas Vaissiere Vaissière 2
Author
Romain Cariou 2, 3
Author
Wanghua Chen 2
Author
J Alvarez 4
Author IdHAL : jose-alvarez ORCID : https://orcid.org/0000-0003-3558-8302
Jean-Luc Maurice 2
Author IdHAL : jean-lucmaurice ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/D-7043-2011 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-5005-7174
Jean Decobert 5
Author
Jean-Paul Kleider 4
Author IdHAL : jean-paul-kleider ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4388-6326
2
LPICM - Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau] (bat. 408 Route de Saclay 91128 PALAISEAU CEDEX - France)
- X - École polytechnique (École polytechnique, 91128 Palaiseau Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7647 (France)
3
III-V Lab - Alcatel-Thales III-V Lab (Domaine de Corbeville, 91404 Orsay - France)
- THALES (France)
4
GeePs - Laboratoire Génie électrique et électronique de Paris (11, rue Joliot Curie
Plateau de Moulon
91192 Gif sur Yvette - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
- CentraleSupélec (3, rue Joliot Curie, Plateau de Moulon, 91192 GIF-SUR-YVETTE Cedex - France)
- SU - Sorbonne Université (21 rue de l’École de médecine - 75006 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8507 (France)
5
III-V Lab - Alcatel-Thalès III-V lab (Route de Nozay, 91461 Marcoussis Cedex - France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadata
https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-01943466
Contributor : Jean-Paul Kleider Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, December 3, 2018 - 6:24:50 PM
Last modification on : Wednesday, September 8, 2021 - 6:07:20 PM
Contributor : Jean-Paul Kleider Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, December 3, 2018 - 6:24:50 PM
Last modification on : Wednesday, September 8, 2021 - 6:07:20 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-01943466, version 1
Collections
CENTRALESUPELEC | CNRS | X-DEP-PHYS | LPICM | X-PICM | X | SORBONNE-UNIVERSITE | PHEMADIC | GEEPS | SU-SCIENCES | GS-ENGINEERING | INSTITUT-SCIENCES-LUMIERE
Citation
Guénaëlle Hamon, Nicolas Vaissière, Romain Cariou, Wanghua Chen, J Alvarez, et al.. Heteroepitaxial growth of Silicon on GaAs via low temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition. Journées Nationales du PhotoVoltaïque (JNPV) 2018, Dec 2018, Dourdan, France. ⟨hal-01943466⟩
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