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Conference papers
Electrical characterization of low temperature plasma epitaxial Si grown on highly doped Si substrates
Cyril Léon
1
Sylvain Le Gall
1
Marie-Estelle Gueunier-Farret
1
Jean-Paul Kleider
1
Pere Roca I Cabarrocas Roca I Cabarrocas
2
Cyril Léon 1
Author IdHAL : cyril-leon ORCID : https://orcid.org/0000-0002-8801-4938
Sylvain Le Gall 1
Author IdHAL : sylvain-le-gall ORCID : https://orcid.org/0000-0003-3941-5994
Marie-Estelle Gueunier-Farret 1
Author IdHAL : marie-gueunier-farret ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1615-498X
Jean-Paul Kleider 1
Author IdHAL : jean-paul-kleider ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4388-6326
1
GeePs - Laboratoire Génie électrique et électronique de Paris (11, rue Joliot Curie
Plateau de Moulon
91192 Gif sur Yvette - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
- CentraleSupélec (3, rue Joliot Curie, Plateau de Moulon, 91192 GIF-SUR-YVETTE Cedex - France)
- SU - Sorbonne Université (21 rue de l’École de médecine - 75006 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8507 (France)
2
LPICM - Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau] (bat. 408 Route de Saclay 91128 PALAISEAU CEDEX - France)
- X - École polytechnique (École polytechnique, 91128 Palaiseau Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7647 (France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadata
https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-02344032
Contributor : Jean-Paul Kleider <>
Submitted on : Sunday, November 3, 2019 - 7:10:51 PM
Last modification on : Thursday, June 17, 2021 - 3:56:04 AM
Contributor : Jean-Paul Kleider <>
Submitted on : Sunday, November 3, 2019 - 7:10:51 PM
Last modification on : Thursday, June 17, 2021 - 3:56:04 AM
Identifiers
- HAL Id : hal-02344032, version 1
Collections
CENTRALESUPELEC | X-DEP-PHYS | LPICM | X-PICM | CNRS | GEEPS | X | SORBONNE-UNIVERSITE | SU-SCIENCES | IP_PARIS | PHEMADIC | GS-ENGINEERING
Citation
Cyril Léon, Sylvain Le Gall, Marie-Estelle Gueunier-Farret, Jean-Paul Kleider, Pere Roca I Cabarrocas Roca I Cabarrocas. Electrical characterization of low temperature plasma epitaxial Si grown on highly doped Si substrates. 28th International Conference on Amorphous and nanocrystalline Semiconductors (ICANS 28), Aug 2019, Palaiseau, France. ⟨hal-02344032⟩
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