Communication Dans Un Congrès
Année : 2019
Jérôme Juillard : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://centralesupelec.hal.science/hal-02907054
Soumis le : lundi 27 juillet 2020-09:41:22
Dernière modification le : jeudi 14 mars 2024-03:28:39
Citer
Alexis Brenes, Bogdan Vysotskyi, Elie Lefeuvre, Jérôme Juillard. Reliability of etching angle estimation of MEMS resonators from electrical measurements. 2019 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP), May 2019, Paris, France. pp.1-4, ⟨10.1109/DTIP.2019.8752716⟩. ⟨hal-02907054⟩
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