The role of oxygen in magnetron sputtered Ta3N5 films for water photoelectrolysis

Martin Rudolph; D. Stanescu; J Alvarez; E. Foy; Jean-Paul Kleider; Hélène Magnan; Tiberiu Minea; Nathalie Herlin-Boime; B. Bouchet-Fabre; Marie-Christine Hugon

The role of oxygen in magnetron sputtered Ta3N5 films for water photoelectrolysis

Martin Rudolph ^{1, 2} D. Stanescu ³ J Alvarez ⁴ E. Foy ⁵ Jean-Paul Kleider ⁴ Hélène Magnan ³ Tiberiu Minea ¹ Nathalie Herlin-Boime ² B. Bouchet-Fabre ² Marie-Christine Hugon ¹

1 Laboratoire de Physique des Gaz et des Plasmas – CNRS UMR 8578

2 LEDNA - Laboratoire Edifices Nanométriques

NIMBE UMR 3685 - Nanosciences et Innovation pour les Matériaux, la Biomédecine et l'Energie (ex SIS2M)

3 SPEC - UMR3680 - Service de physique de l'état condensé

4 GeePs - Laboratoire Génie électrique et électronique de Paris

5 LAPA - UMR 3685 - Laboratoire Archéomatériaux et Prévision de l'Altération

NIMBE UMR 3685 - Nanosciences et Innovation pour les Matériaux, la Biomédecine et l'Energie (ex SIS2M)

Type de document :

Communication dans un congrès

E-MRS 2016 Spring Meeting, May 2016, Lille, France

Domaine :

Physique [physics] / Matière Condensée [cond-mat] / Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Sciences de l'ingénieur [physics] / Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Sciences de l'ingénieur [physics] / Energie électrique

Sciences de l'ingénieur [physics] / Optique / photonique

Sciences de l'ingénieur [physics] / Matériaux

Liste complète des métadonnées

https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-01363717
Contributeur : Jean-Paul Kleider <>
Soumis le : dimanche 11 septembre 2016 - 12:57:15
Dernière modification le : mardi 22 mai 2018 - 14:10:05

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