Study of Electronic Properties of Hydrogenated Amorphous Silicon Thin Film from SiH4/H2 using Tailored Voltage Waveforms

Junkang Wang (1) , Federico Ventosinos (1) , Christophe Longeaud (2) , Bastien Bruneau (1) , D. Daineka (1) , Mustapha Elyaakoubi (3) , E. Stephanos (3) , Jean-Paul Kleider (2) , Erik Johnson (1)

1 LPICM - Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau]
2 GeePs - Laboratoire Génie électrique et électronique de Paris
3 TFSC-Instrument

Domaines: Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]; Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Energie électrique; Optique / photonique; Matériaux

Junkang Wang, Federico Ventosinos, Christophe Longeaud, Bastien Bruneau, D. Daineka, et al.. Study of Electronic Properties of Hydrogenated Amorphous Silicon Thin Film from SiH4/H2 using Tailored Voltage Waveforms. E-MRS 2016 Spring Meeting, May 2016, Lille, France. ⟨hal-01363727⟩