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Structural and functional properties of Zn(Ge,Sn)N2 thin films deposited by reactive sputtering
Nicole Beddelem
1
Stéphanie Bruyere
2
Franck Cleymand
1
Sebastien Diliberto
1
Christophe Longeaud
3
Sylvain Le Gall
3
Roselyne Templier
Patrice Miska
1
Bérangère Hyot
4
Nicole Beddelem 1
Author Employer institution : Institut Jean Lamour
Stéphanie Bruyere 2
Author
Franck Cleymand 1
Author
Sebastien Diliberto 1
Author IdHAL : sebastien-diliberto ORCID : https://orcid.org/0000-0002-7766-0205
Christophe Longeaud 3
Author IdHAL : christophe-longeaud
Sylvain Le Gall 3
Author IdHAL : sylvain-le-gall ORCID : https://orcid.org/0000-0003-3941-5994
Roselyne Templier
Author
Patrice Miska 1
Author
Bérangère Hyot 4
Author Employer institution : Laboratoire des technologies de la microélectronique
1
IJL - Institut Jean Lamour (Institut Jean Lamour - CNRS - Université de Lorraine. Campus Artem 2 allée André Guinier BP 50840 54011 Nancy Cedex - France)
- UL - Université de Lorraine (34 cours Léopold - CS 25233 - 54052 Nancy cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7198 (France)
2
LICB - Laboratoire Interdisciplinaire Carnot de Bourgogne (Université de Bourgogne - 9 avenue Alain Savary - BP 47870 - 21078 Dijon Cedex - France)
- UB - Université de Bourgogne (Maison de l'université - Esplanade Érasme - BP 27877 - 21078 Dijon cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6303 / UMR5209 (France)
3
GeePs - Laboratoire Génie électrique et électronique de Paris (11, rue Joliot Curie
Plateau de Moulon
91192 Gif sur Yvette - France)
- CentraleSupélec (3, rue Joliot Curie, Plateau de Moulon, 91192 GIF-SUR-YVETTE Cedex - France)
- SU - Sorbonne Université (21 rue de l’École de médecine - 75006 Paris - France)
- Université Paris-Saclay (Espace Technologique, Bat. Discovery - RD 128 - 2e ét., 91190 Saint-Aubin - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8507 (France)
4
CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
Document type :
Journal articles
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https://hal-centralesupelec.archives-ouvertes.fr/hal-02883424
Contributor : Christophe Longeaud <>
Submitted on : Monday, June 29, 2020 - 10:26:56 AM
Last modification on : Thursday, July 22, 2021 - 3:04:01 AM
Contributor : Christophe Longeaud <>
Submitted on : Monday, June 29, 2020 - 10:26:56 AM
Last modification on : Thursday, July 22, 2021 - 3:04:01 AM
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Identifiers
- HAL Id : hal-02883424, version 1
- DOI : 10.1016/j.tsf.2020.138192
Collections
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Citation
Nicole Beddelem, Stéphanie Bruyere, Franck Cleymand, Sebastien Diliberto, Christophe Longeaud, et al.. Structural and functional properties of Zn(Ge,Sn)N2 thin films deposited by reactive sputtering. Thin Solid Films, Elsevier, 2020, 709, pp.138192. ⟨10.1016/j.tsf.2020.138192⟩. ⟨hal-02883424⟩
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