Conducting Probe Atomic Force Microscope as a Relevant Tool for Studying Some Phenomena in MEMS Switches

Alexis Peschot (1, 2) , Maxime Vincent (1, 2) , Christophe Poulain (2) , Denis Mariolle (2) , Frédéric Houzé (3) , Jérôme Delamare (1)

1 G2ELab - Laboratoire de Génie Electrique de Grenoble
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 GeePs - Laboratoire Génie électrique et électronique de Paris

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Alexis Peschot, Maxime Vincent, Christophe Poulain, Denis Mariolle, Frédéric Houzé, et al.. Conducting Probe Atomic Force Microscope as a Relevant Tool for Studying Some Phenomena in MEMS Switches. Sensing and Imaging: An International Journal, 2015, 16, pp.21. ⟨10.1007/s11220-015-0124-1⟩. ⟨hal-01235862⟩