Imagerie de résistance électrique locale sur matériaux fragiles par microscopie à force atomique à pointe conductrice en mode contact intermittent

Aymeric Vecchiola (1) , Pascal Chrétien (2) , Karim Bouzehouane (1) , Olivier Schneegans (2) , Pierre Seneor (1) , Sergio Tatay (3) , Frédéric Houzé (2)

1 UMPhy CNRS/THALES - Unité mixte de physique CNRS/Thales
2 GeePs - Laboratoire Génie électrique et électronique de Paris
3 Molecular Science Institute

Domains: Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Aymeric Vecchiola, Pascal Chrétien, Karim Bouzehouane, Olivier Schneegans, Pierre Seneor, et al.. Imagerie de résistance électrique locale sur matériaux fragiles par microscopie à force atomique à pointe conductrice en mode contact intermittent. 19e Forum des Microscopies à Sonde Locale, Mar 2016, Sochaux-Montbéliard, France. ⟨hal-01317747⟩